主要指標(biāo)半導(dǎo)體石墨的選擇有哪些?
正級燒結(jié)石墨閘缽半導(dǎo)體作業(yè)是一個(gè)新式的科技產(chǎn)業(yè),近年來備受重視,越來越多的公司開始進(jìn)入半導(dǎo)體作業(yè),而石墨已經(jīng)成為半導(dǎo)體作業(yè)展開不可或缺的材料之一。半導(dǎo)體需求運(yùn)用石墨的導(dǎo)電性,由于石墨的含碳量越高,導(dǎo)電性就會(huì)越好,一般需求考慮的方針有:粒度、耐熱性、純度。
粒度對應(yīng)不同的網(wǎng)格數(shù),規(guī)范用網(wǎng)格數(shù)表明。網(wǎng)格是孔的數(shù)量,每平方英寸孔的數(shù)量。一般網(wǎng)孔x孔徑(微米)=15000。導(dǎo)電石墨的網(wǎng)目標(biāo)準(zhǔn)越大,顆粒標(biāo)準(zhǔn)越小,潤滑功用越好,可用于潤滑材料生產(chǎn)領(lǐng)域。半導(dǎo)體作業(yè)所用的粒度應(yīng)該非常細(xì),由于更簡略完結(jié)加工精度,抗壓強(qiáng)度高,損耗比較小,特別是關(guān)于燒結(jié)模具,要求加工精度高。
粒度分布如:20目、40目、80目、100目、200目、320目、500目、800目、1200目、2000目、3000目、5000目、8000目、12500目,小可為15000目。
許多產(chǎn)品在半導(dǎo)體作業(yè)的使用都是需求連續(xù)加熱的,為了延伸器件的運(yùn)用壽命,這就要求導(dǎo)電石墨具有以下功用:優(yōu)異的可靠性和耐高溫沖擊功用。
半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)石墨的要求是:純度越高越好,特別是兩者之間觸摸的石墨器件,假如雜質(zhì)太多,會(huì)污染半導(dǎo)體材料。因此,我們需求嚴(yán)格控制導(dǎo)電石墨的純度,還需求將其經(jīng)過高溫石墨化工藝,以大限度地降低灰級。